仪器名称

三维干涉轮廓仪

仪器型号

GTK

生产厂家

美国BRUKER公司

技

术

参

数

l  最大直径：6英寸；

l  采用双光源技术：绿光和白光LED；

l  Z方向扫描范围：测量范围0.1nm至 10mm；

分辨率<0.1nm；

l  RMS重复率：0.01nm

l  垂直扫描速度：最高扫描速度28um/秒；

横向采样间隔：0.1um至13.2um；

l  具有自动载物台；

l  具有较高的光学分辨率,最小可达0.49um;

l  设备具有较大的视野范围，并能够通过扩展进一步扩展范围：

l  测试的台阶高度具有0.8%精确度，1σ重现性0.1%;